전체 글18 컨덕턴스(Conductance-진공배기능력) '컨덕턴스'는 진공시스템에서 기체의 이동과 관련된 용어입니다. 개구부나 배관을 통해 얼마만큼의 기체를 주어진 시간 내에 통과시킬 수 있는 능력을 말하는 것입니다. 단위로는 liter per second (초당 리터), cubic feet per minute (CFM), 또는 cubic meters per hour (시간당 입방미터 - 루베)로 표현합니다. 분자유동(molecular flow)에서는 기체입자가 직진으로 거의 움직이기 때문에 컨덕턴스 경로가 넓고 짧은게 좋습니다. 반면에 점성유동(viscous flow)에서는 컨덕턴스가 이럴 필요가 없습니다. 압력차에 의해 기체 입자가 서로 밀어내기 때문입니다. 분자유동 범위에서 1 in.² 직경의 개구부는 75liter/sec 컨덕턴스 능력을 갖습니다. 이.. 2023. 4. 17. 평균자유행정거리 (Mean Free Path: MFP) 진공챔버 내의 압력이 낮으면 낮을수록 기체 입자들간의 거리가 멀어지게 됩니다. 이렇게 되면 입자들간의 충돌 빈도가 줄어들게 되죠. 하나의 입자가 다른 입자랑 충돌 없이 이동할 수 있는 거리를 평균자유 행정거리(Mean Free Path: MFP)라고 합니다. 대기압 상태에서는 MFP가 굉장히 잛습니다. 대략 이백만 분의 수 센티미터 정도됩니다. 하지만 진공상태에서는 기체입자의 수가 줄어들기 때문에 이 거리가 늘어나게 됩니다. 위 표를 보면 압력에 따라 기체 입자의 수가 줄어들고 거기에 따라 MFP 가 늘어나는 걸 알 수 있습니다. (영화 그래비티를 보시면 우주에서 입자가 충격을 받으면 얼마나 빨리 날라가는지 볼 수 있습니다. 이게 바로 MFP가 엄청나기 때문입니다.) 압력에 따라 MFP를 추정할 수 있는.. 2023. 4. 14. 기체 흐름 분류 (Gas Flow) 진공챔버에서 기체를 뽑아내기 위해선, 기체가 어떻게 흐르고 이동하는지 알아야 합니다. 여기에는 대표적인 두 가지 기체 흐름이 있는데, 이는 점성유동(Viscous Flow)과 분자유동(Molecular Flow)입니다. 이 분류는 기체분자가 공간을 채우기 위해 어떠한 형태로 움직이는가와 관련되어 있습니다. 점성유동(Viscous Flow) 1 x 10⁻² Torr 이상의 압력으로 기체 분자가 공간에 차 있을 경우, 기체 분자는 액체와 같이 움직입니다. 이러한 움직임 특성 때문에 점성유동이라고 부릅니다. 이러한 상태에서 기체 분자들을 끊임없이 기체 분자들끼리 충돌과 밀어내는 동작이 일어납니다. 분자들끼리 아주 가깝게 밀집되어 있기 때문에 진공펌프로 이 분자들 일부를 뽑아내면, 다른 분자들이 뽑아져 나간 분.. 2023. 4. 12. 기체 법칙 진공시스템에서 진공을 만들기 위해선 기체를 제거해야 합니다. 이 기체를 제거하기 위해선 기체의 운동 특징, 법칙을 이해할 필요가 있습니다. 이를 설명하기 위한 법칙들이 여러 가지 있습니다. 아보가드로 법칙 (Avogadro's Law) 압력과 온도가 같은 조건일 때, 기체의 양이 동일한 경우, 같은 수의 입자(분자)를 갖습니다. 이 입자 수를 mole이라고 합니다. 어떤 종류의 기체이든 표준 조건(760 torr, 273K)에서 1 mole은 6.023 x 10²³ 입자가 22.4 liter의 체적을 갖습니다. 위 법칙에 따라 liter 당 기체분자가 얼마나 있는지 계산해보면, 아래와 같습니다. 다시 cc 당 얼마의 기체 분자가 있는지를 계산하면 2.69 .x 10¹⁹ particles/cc가 됩니다. .. 2023. 4. 7. 이전 1 2 3 4 5 다음
